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    產品詳情
    • 產品名稱:四探針電阻率/方塊電阻測試儀

    • 產品型號:CDEResMap
    • 產品廠商:其它品牌
    • 產品價格:0
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    簡單介紹:
    四探針電阻率又名方塊電阻測試儀,主要用于測量電阻率及方塊電阻(只測量非金屬薄膜,避免設備污染)。提供自動計算機量測的四點探針阻值量測機臺??焖?,jing確與軟件控制下針、軟件功能可化下針壓力,即使薄片量測也不易破裂。自動清針(Probe Conditioning);動作,雙針頭切換能使用可支持自動Loader,300mm 機臺可使用Front End,zui多擴充3個量測單元,支持Semi標準接口。
    詳情介紹:

    CDEResMap四探針電阻率/方塊電阻測試儀


    一、四探針電阻率產品介紹

    四探針電阻率又名方塊電阻測試儀,主要用于測量電阻率及方塊電阻(只測量非金屬薄膜,避免設備污染)。提供自動計算機量測的四點探針阻值量測機臺??焖?,jing確與軟件控制下針、軟件功能可化下針壓力,即使薄片量測也不易破裂。自動清針(Probe Conditioning);動作,雙針頭切換能使用可支持自動Loader,300mm 機臺可使用Front End,zui多擴充3個量測單元,支持Semi標準接口。


    二、四探針電阻率技術參數

    1薄膜電阻測量范圍: 10-5Ω.cm~105Ω.cm

    2方塊電阻測量范圍:10-3Ω/□至106Ω/□

    3晶片直徑: 50至200mm,可測量不規則硅片

    4具有2D、3D Mapping的數據分析功能。

    5具有測試數據自動導出功能。


    三、四探針電阻率典型應用

    1非晶硅/微晶硅和導電膜電阻率測量;

    2選擇性發射極擴散片;

    3表面鈍化片;

    4交叉指樣PN結擴散片;

    5新型電極設計,如電鍍銅電阻測量等


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